电子无尘车间标准以及布局
作者:上海澜盛净化工程有限公司 发布时间:2019-11-28 18:06:36 点击: 117
电子无尘车间的显著特点就是占地面积达大,因此在装修之前要明确该无尘车间的标准和布局知识,电子无尘车间的标准无外乎噪声级(空态)不应大于65dB(A)、人每小时的新鲜空气量不小于40每立方等,但是要想达到这些标准,要特别注重设备的布局。
一、电子无尘车间标准
1.电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
2.电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
3.电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
4.电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值:
5.补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
6.保给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40每立方。
二、电子无尘车间布局
(1)平面由工艺决定,电子工业洁净厂房的工艺布局应适应电子产品发展的灵活性,满足产品生产工艺改造和扩大生产的需求。
(2)主体结构宜采用大空间及大跨度柱网,不宜采用内墙承重体系。
(3)大型电子工业洁净厂房常采用上技术夹层、下技术夹层这种“夹心”式多层构造。
(4)应考虑大型生产工艺设备的安装、维修要求,设置必要的运输通道和不影响洁净生产环境的安装口或检修口。
(5)电子工业无尘车间按二级耐火等级设计。
(6)特种气体的储存和分配间应有耐火隔墙与无尘车间(区)分开,该墙耐火极限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物气瓶存区至少三面是敞开的,气瓶与周围构筑物或围栏之间的距离应大于3M,储存区设置的雨篷应不低于3.5M。
(7)电子工业无尘车间的装饰材料不得采用释放对电子产品有影响物质的材料。
(8)电子工业无尘车间允许设空气吹淋室,这是和一般生物无尘车间不同的。吹淋室应与洁净工作服更衣室相邻。单人吹淋室按最大班人数为30人一间设计,当工作人员超过5人时,应设旁门,当人数太多或为了缩短通过时间,也可设遂道式吹淋室。
(9)对于高级别无尘车间,为了尽可能不影响气流的单向性、平行性,照明灯具采用净化泪珠形灯具。
(10)电子工业无尘车间常要根据生产工艺要求设置防静电环境,以便抑制静电的产生,将已产生的静电迅速、安全的排除。
(11)电子工业无尘车间友有对防微振的特殊要求,在厂地环境上应避开振动源。
(12)电子工业无尘车间除有一般给排水要求外,对超大规格集成电路的用水也有标准。
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