洁净室各级洁净度标准

　　洁净室，亦称为净化间，是一个严格控制空气悬浮粒子浓度的环境。其设计初衷在于减少室内粒子的诱入、产生与滞留，并对温度、湿度、压力等参数进行精准控制。洁净室的洁净程度通常以单位体积空气中某粒径粒子的数量来衡量。

　　洁净室的洁净度等级根据空气中悬浮粒子浓度来划分，数值越小，代表净化级别越高。具体来说，常见的洁净度等级包括十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级及百万级。

　　一、百级洁净室标准：

　　洁净度：粒径大于等于0.1微米的最大微粒数不得超过100个。

　　压差及温湿度：温度控制在22℃±2℃，湿度控制在55%±5%。室内需满布FFU(风机过滤单元)，设置高架地板，并采用MAU+FFU+DC系统维持正压，相邻房间压力梯度保持在10pa左右。

　　照度：鉴于无尘洁净室工作的精细性和密闭性，对照明有较高要求。采用局部照明与混合照明相结合的方式，确保工作面上有足够的光线。

　　二、千级洁净室标准：

　　洁净度：每立方米空气中，小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，达到国际无尘标准的A级。对于高级芯片生产，微尘数量更是被严格控制在每立方米1000个以内。

　　压差及温湿度：为防止外界污染侵入，需保持内部静压高于外部。洁净空间的压力要高于非洁净空间，洁净度级别高的空间压力要高于相邻的洁净度级别低的空间。

　　三、万级洁净室标准：

　　洁净度：大于等于0.5um的尘粒数大于35000粒/m³到小于等于350000粒/m³。

　　温度及湿度：通过干盘管系统控制，空调箱根据感测信号调节三通阀开度，进而调节盘管进水量。

　　四、十万级洁净室标准：

　　洁净度：工作车间内每立方米的微粒控制在10万以内，主要应用于电子、药品及食品等行业。每小时换气次数在15-19次，完全换气后空气净化时间不超过40分钟。

　　压差：相同洁净度等级的洁净室压差保持一致，不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa，洁净室与非洁净室之间要>10pa。

　　温度及湿度：温度控制在冬季20~22℃，夏季24~26℃，湿度控制在冬季30-50%，夏季50-70%。主要生产用房照度值宜>300Lx，辅助工作室、走廊等照度值宜为200~300Lx。

　　五、三十万级洁净室标准：

　　洁净度：每立方米大于或等于0.5um的尘粒最多不能超过10,500,000个;每立方米大于或等于5um的尘粒最多不能超过60,000个;每立方米浮游菌数量最多不能超过1000个。

　　压差及温度控制：不同洁净级别室(区)之间，静压差大于或等于5PA;洁净室(区)与室外，静压差大于或等于10PA。

　　六、百万级洁净室标准：

　　洁净度测试：包括空态测试和静态测试，确保洁净室在不同运行状态下均能达到预期的洁净度。

　　送风量或风速：根据洁净度要求，确保足够的通风换气量，经过初效、中效、高效(甚至超高效)过滤，确保室内空气质量。

　　送风量或风速

　　足够的通风换气量是为了稀释和排除室內污染空气,根据不同的洁净度要求,当洁室净高较高时,适当增加换气次数。其中,100万级洁室的通风量是按高中效浄化系统考虑,其余均按高效浄化系统考虑。般要经过初效过滤、中效过滤、高效过滤三个过滤段(甚至还有超高效过滤器，四段过滤)。气流→初效净化→加湿段→加热段→表冷段→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒→回风百叶窗→初效净化，重复这样的一系列过程，即可达到净化的目的。