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苏州昆山洁净室装修工程-光学微电子车间

作者:上海澜盛净化工程有限公司 发布时间:2023-04-10 16:08:17 点击:1

  本次设计设计为苏州昆山微电子有限公司二层洁净厂房的净化空调工程设计,按照业主的要求设计为百级、千级、万级、十万级洁净室。具体洁净度及温湿度要求详见平面图。施工范围包括洁净厂房结构装修、洁净空调通风系统、空调冷冻站、相关照明空调插座配电、工艺管道(空压、真空、纯水、冷却水)等。同时根据净化车间设备要求在局部设机械排风系统。

微电子车间平面图

  1.总面积1680平方米,建筑高度为4.6m,大梁高度3.7m,净化车间吊顶高度为2.6m;

  2.无尘房标准按静态验收,温度、相对湿度参数详细见下表;

房间名称

洁净度级别

温度(°c

湿度(%

面积(

送风量(m³/h)

热压房

万级

23±3

55±10

678.4

50000

中清洗房

万级

洗网房

万级

显影 脱膜

万级

曝光房

百级

62

68000

贴合间

百级

38

45000

PI印刷房

百级

25

30000

PI预烘房

千级

47

7000

丝印房

千级

71.6

12000

定向间

千级

45

6800

固化房

千级

36

5500

更衣室

十万级

57

2500

投料房

十万级

29

1500

  3.玻璃窗距离地面1.1m,空调车间观察窗采用5mm白色玻璃;

苏州昆山洁净室装修工程图片

  4.单人双吹风淋室,外尺寸1000*1590*2050.双人双吹风淋室,外尺寸2000*1590*2050.

  6.更衣室衣柜采用不锈钢支架FFU吹淋衣柜(参考参观样式)。

  7.洁净车间金属壁板墙:50厚金属壁板(板厚0.426聚苯乙烯夹芯),用于洁净室内隔墙。

  8.洁净室吊顶:

  千级、万级、十万级及准洁净区一次彩钢板天花吊顶,吊顶高度2.6m;吊顶洁净板材采用50厚金属壁板(板厚0.426,手工玻镁板)。

  百级洁净区:T-GRID龙骨吊顶,吊顶高度2.6m。

  二次彩钢板吊顶(技术夹层)高度4.2,裸露梁体做环氧漆处理。

  辅助用房吊顶采用烤漆龙骨+硅酸钙板吊顶,吊顶高度3.2米。

  9. 地面:

  洁净室顶面采用自流平环氧树脂地面,厚2mm;定向间采用防静电环氧地坪,局部车间采用防腐蚀环氧树脂地面,百级洁净车间内采用铸铝高架地板,架空高度300mm,尺寸为600*600*40。

万级洁净区图片


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