浙江平湖电子光膜洁净车间装修

　　建筑面积：1680㎡

　　洁净度级别：万级、十万级

　　设计参数：温度：22 ±2℃;相对湿度：50~60%

　　项目概述：项目位于浙江平湖高科经济园区， 建设内容包括：生产洁净厂房装修及配套水电气系统、空调系统、排风系统、安全和消防系统等设施;办公室装修及办公设施。本例主要介绍洁净厂房装修及净化系统设计方案。

　　此项目洁净室MAU+FFU+(RCU+FCU)系统，MAU主要控制室内的湿度和保证室内的正压，FFU通过空气循环过滤保证洁净度，而RCU+FCU是来除去室内的显热从而保证室内的温度。

　　(1)MAU(Make—uDAirUnit)组合式外气空调箱是由风机、冷盘管、热盘管(或电加热)、空气过滤器(初级、中级、高级三级过滤)、加湿器组成，通过初中效过滤、预热、降焓、减湿、再热、高效过滤后送入回风层。

　　(2)FFU(FanFiherUnit)是模数化的小型风机过滤单元，安装在顶棚框架上，空气由FFU的风机加压后经HEPA或ULPA过滤送入室内，如此循环，其换气次数直接决定室内洁净度的不同。FFU的技术性能取决于风机和HEPA或ULPA的质量。FFU的风机均采用外转子电机以减小高度，一般配有电子式过载保护开关、故障指示灯，故障输出节点，有传统的低、中、高三档交流控制，目前直流变频控制亦越来越应用在洁净等级比较高的系统。早在上个世纪6O年代，美国新墨西哥州Sandia国家实验室的科学家们利用HEPA过滤的方法研制成功了层流技术，其后商用FFU陆续在美国一些手术室及工业厂房得到广泛的应用。

　　大规模的FFU洁净厂房都可以把噪声控制在65dBA以下，这符合工业厂房的标准。其次随着自动控制的发展，监测和调节各个角落的静压也变得容易起来。最后电机的寿命随着技术的提高也得到了质的飞跃。

　　现在，随着半导体电子技术的发展，越来越密集的集成电路也要求着越来越高的洁净等级，而FFU系统本身也有着其独特的优势，主要包括以下几点：

　　①灵活性。因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。

　　②可再利用性。从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。

　　③负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于沽静厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。

　　④缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。

　　⑤减少运行成本。虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。

　　⑥节约空间。相比较RCU+HEPA系统，MAU+FFU+DC系统占用送风静压箱内较少层高，且基本不占用洁净室内空间。而RCU不论是吊挂在天板上方还是设置在洁净室，均占用不少空间。

　　(3)薄型空气处理机+FCU

　　循环空调箱，全空气系统，用于除去室内空气的显热。

　　在此方案中相比较有以下几条有点：

　　①灵活性大，满布率高。对于Ic工厂而言洁净空调系统的灵活性是非常重要的，其随着市场产品更新换代快而带来的变更会很多的。若果车间内洁净度随工艺变化而需做局部区域性调整时，可通过改变FFU风量或置换盲板来改变局部区域的洁净度。档密集不只是，漫步率可达85.5%。

　　②FFU上部顶棚为负压，可起负压密封的作用。顶棚内呈负压，洁净室内空气压力大于顶棚内的空间。如果FFU与支架密封处有缝隙，则由于顶棚内为负压使得未经高效过滤器的空气不能进入室内，对保证洁净室的洁净度有力。

　　④针对此方案建筑结构，二楼层高限制，技术夹层空间有限，空调设备位置安装灵活，可根据实际情况规避梁柱 贴顶吊装。